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智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）
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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，精密充氮烘箱
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LCP熱處理烘箱，LCP纖維氮氣烘箱
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熱風循環真空烘箱，高溫熱風真空烤箱
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HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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智能型無塵無氧烘箱（PI烤箱）
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真空熱風烘箱，高溫熱風真空烤箱的加熱原理
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2023-07-07
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真空熱風烘箱，高溫熱風真空烤箱的加熱原理
1、真空熱風烘箱內的加熱器元件為平整的不銹鋼板，材質為SUS 316不銹鋼平板內部為夾套。
2、采用脈動的方式進行空氣置換的方式,抑制物料發泡
3、真空系統采用真空機組,分階段變頻調速抽真空,加快抽汽速率。
3.真空烘箱，是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備它的工作原理是利用真空泵進行抽氣抽濕，使工作室內形成真空狀態，降低水的沸點，加快干燥的速度。
真空熱風烘箱，高溫熱風真空烤箱的應用
真空熱風烘箱用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質固化，LCP材料熱處理、鍵合材料預處理，FOWLP扇出封裝，ITO膜/鋁/銅退火，PBO膠固化等特殊工藝。
真空熱風烘箱，高溫熱風真空烤箱技術性能
溫度：MAX500度
升溫方式：階梯式升溫
真空度：1torr
操作：彩色人機界面，一鍵運行
冷卻方式：水冷卻+風冷
氣路：1-3路N2
程序模式：程序運行10個，每個程序可設置25步
隔熱材料：陶瓷纖維
工作腔：1/2/4/8可選
