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對待每一
做到極致認真
每一個零件
細
致
致
每一組數據
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HMDS預處理系統在超薄鈮酸鋰材料的應用
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發布時間: 2023-07-06
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鈮酸鋰具有出色的光電特性，作為一種集成光子平臺，受到廣泛關注。在此基礎上，各種功能光子器件，如電光調制器和非線性波長轉換器，已經展現出令人矚目的性能。與此同時，基于鈮酸鋰薄膜的激光器和放大器作為集成光子系統的重要組成部分，也取得了一系列令人振奮的突破和進展。
鈮酸鋰材料將引領未來片上集成光路的變革。隨著全球經濟數字化浪潮的推動，智慧城市和數據中心的建設與光子芯片的研發和生產密切相關。鈮酸鋰材料可用于制備集成激光器、放大器、變頻器、電光調制器、光電探測器等關鍵光子器件，促進了光通信、激光雷達、粒子傳感、信息處理等領域的快速發展。未來，更多類型的高集成、多功能LNOI芯片將走向產業化，片上集成光路領域也將迎來數字經濟時代的新發展機遇。"
HMDS預處理系統
將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、碳化硅、玻璃、藍寶石、鍍金晶圓等材料表面后，經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。
智能型HMDS預處理系統（JS-HMDS90-AI）技術性能：
內尺寸：300×300×300，450×450×450，550×550×550（mm）（可定制）
溫度范圍：RT+50-200℃
真空度：≤1torr
控制方式：人機界面，一鍵運行
真空泵：無油渦旋真空泵
智能型HMDS預處理系統（JS-HMDS90-AI）特點：
HMDS藥液泄漏報警提示功能
HMDS低液位報警提示功能
工藝數據記錄功能
藥液管道預熱功能
程序鎖定保護等功能
